突破‘卡脖子’技術(shù)，淄博智造再添新成果！近期，宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司自主研發(fā)的濺射金屬基高精納米膜芯體實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端傳感器領(lǐng)域空白。這家成立僅一年的企業(yè)如何攻克技術(shù)難關(guān)？國(guó)產(chǎn)傳感器如何逆勢(shì)突圍？

記者走進(jìn)宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司的展廳，可以看到一枚直徑不足1厘米的精密器件，正是企業(yè)打破國(guó)外壟斷的“秘密武器”——濺射金屬基高精納米膜芯體。別看它體積小巧，卻是壓力傳感器的“心臟”，可以產(chǎn)品提高產(chǎn)品在高溫、高壓、灰塵、潮濕等惡劣環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性。宇鴻敏芯自主研發(fā)的濺射金屬基高精納米膜芯體，采用國(guó)際領(lǐng)先的MEMS加工工藝，將納米薄膜應(yīng)變電阻直接集成于金屬?gòu)椥泽w表面，實(shí)現(xiàn)敏感元件與彈性體的原子級(jí)結(jié)合。這項(xiàng)技術(shù)使國(guó)產(chǎn)傳感器首次作為自創(chuàng)產(chǎn)品在石油勘探、航空航天等高端領(lǐng)域達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司總工程師崔雪巖表示，公司自主研發(fā)的濺射薄膜壓力傳感器芯體不僅僅實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)“零”的突破，而且相關(guān)參數(shù)在國(guó)際相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品中也是遙遙領(lǐng)先，其最高測(cè)量量程達(dá)到了380兆帕，相對(duì)于傳統(tǒng)壓力傳感器60兆帕的測(cè)量量程，達(dá)到了一個(gè)幾倍的遞增，年漂移精度僅僅只有千分之一，相對(duì)于其它壓力傳感器，年漂移精度達(dá)到千分之三、或者千分之五的精度，性能技術(shù)參數(shù)是遙遙領(lǐng)先。該產(chǎn)品的測(cè)試數(shù)據(jù)顯示：-50℃極寒到300℃炙烤，精度波動(dòng)小于0.1%；承受3800倍大氣壓沖擊后，信號(hào)輸出依然穩(wěn)定。正是這些指標(biāo)，讓國(guó)產(chǎn)傳感器順利進(jìn)入衛(wèi)星推進(jìn)器供應(yīng)商名錄。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司研發(fā)部主任羅靜怡表示，之所以能夠達(dá)到這樣的技術(shù)指標(biāo)，是因?yàn)槠髽I(yè)在科技研發(fā)方面不斷地投入。比如設(shè)備方面，成功參與研發(fā)并改進(jìn)了全自動(dòng)步進(jìn)式紫外光刻機(jī)、全自動(dòng)噴膠機(jī)等儀器，并聯(lián)合高校共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，強(qiáng)化技術(shù)轉(zhuǎn)化能力。在人才團(tuán)隊(duì)建設(shè)上，目前擁有的研發(fā)團(tuán)隊(duì)碩士占比達(dá)50%，并聘請(qǐng)了多位半導(dǎo)體領(lǐng)域的國(guó)家級(jí)專家擔(dān)任技術(shù)顧問(wèn)，通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作持續(xù)突破技術(shù)瓶頸，加強(qiáng)自身在濺射薄膜工藝領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力。

目前，宇鴻敏芯已擁有千、百級(jí)凈化車間與多條產(chǎn)線，具備30萬(wàn)枚芯(片)體、10萬(wàn)支壓力傳感器年產(chǎn)能力。研發(fā)及工藝設(shè)備近200臺(tái)套，具備較完備的設(shè)計(jì)研發(fā)力學(xué)傳感器技術(shù)平臺(tái)，助力技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品升級(jí)。同時(shí)，宇鴻敏芯已擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)二十余項(xiàng)，為企業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供了強(qiáng)大的技術(shù)支撐和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。下一步，宇鴻敏芯將逐步實(shí)現(xiàn)技術(shù)研發(fā)成果轉(zhuǎn)換，達(dá)成年產(chǎn)100萬(wàn)支芯體，30萬(wàn)支傳感器的產(chǎn)能規(guī)劃，向汽車電子、醫(yī)療電子、通訊電子領(lǐng)域的拓展布局。同時(shí)，依托國(guó)內(nèi)國(guó)際雙循環(huán)戰(zhàn)略，企業(yè)正推動(dòng)"中國(guó)技術(shù)+中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)"深度參與全球競(jìng)爭(zhēng)，通過(guò)主導(dǎo)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制定、建設(shè)海外聯(lián)合創(chuàng)新中心，讓"中國(guó)創(chuàng)造"從價(jià)值鏈參與者蛻變?yōu)橐?guī)則制定者。

企業(yè)是科技創(chuàng)新的主體，也是推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的生力軍，而企業(yè)的集聚效應(yīng)，又成為反向推動(dòng)企業(yè)個(gè)體創(chuàng)新發(fā)展的助推器。選擇入駐“中國(guó)MEMS傳感器十大園區(qū)”之一的齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地，宇鴻敏芯看中的正是園區(qū)“一公里生態(tài)圈”的聚變效應(yīng)。在這里，從特種合金材料到微米加工，從封裝測(cè)試到智能校準(zhǔn)，數(shù)十家上下游企業(yè)環(huán)環(huán)相扣，讓宇鴻敏芯有了更大的發(fā)展空間。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司生產(chǎn)部經(jīng)理許凱表示，園區(qū)具有較為完善的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈、儀器儀表產(chǎn)業(yè)鏈的上下游配置。園區(qū)內(nèi)的精密機(jī)加配套讓企業(yè)產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)改良升級(jí)方面可以快速反應(yīng)；與MEMS研究院、山東理工大學(xué)等合作，提高了企業(yè)產(chǎn)品的技術(shù)更新迭代速度；相對(duì)完善的供應(yīng)鏈配套讓生產(chǎn)研發(fā)的成本更低、速度更快，讓產(chǎn)品更加具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

據(jù)悉，齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地以MEMS、光電子、智能機(jī)器人為主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，聚有重點(diǎn)企業(yè)100余家，其中高新技術(shù)企業(yè)42家，智洋創(chuàng)新科創(chuàng)板上市，亞華電子創(chuàng)業(yè)板上市、新恒匯電子創(chuàng)業(yè)板過(guò)會(huì)，信通電子主板過(guò)會(huì)，齊芯微、瑞邦智能裝備、深川變頻等上市后備企業(yè)6家，國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)8家，省級(jí)“專精特新”中小企業(yè)30家，省瞪羚企業(yè)10家。擁有國(guó)產(chǎn)自主可控的光纖水聽(tīng)器、國(guó)內(nèi)首款86寸金屬網(wǎng)格銅柔性觸控屏等打破國(guó)際壟斷和國(guó)際先進(jìn)項(xiàng)目的高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目32個(gè)，2021年和2022年連續(xù)被省工信廳評(píng)為“省級(jí)數(shù)字經(jīng)濟(jì)園區(qū)”，2023年入選“中國(guó)MEMS傳感器十大園區(qū)”，并被省科技廳評(píng)為“省級(jí)科技企業(yè)加速器”，2024年入選省工信廳認(rèn)定的“山東省首批數(shù)字產(chǎn)業(yè)集群”，淄博高新區(qū)智能微系統(tǒng)加速器在2024年度省級(jí)科技企業(yè)孵化載體績(jī)效評(píng)價(jià)中獲評(píng)優(yōu)秀。

智能制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展中心始終都將企業(yè)服務(wù)作為園區(qū)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵抓手，創(chuàng)新實(shí)施“智能制造中心+國(guó)投公司+產(chǎn)業(yè)基金+N服務(wù)”的管理服務(wù)體制、“九個(gè)一”平臺(tái)雙招雙引機(jī)制及研發(fā)產(chǎn)業(yè)化機(jī)制，著力打造“政產(chǎn)學(xué)研金服用”完整的生態(tài)體系。今年以來(lái)，智能制造中心聚焦高質(zhì)量發(fā)展提升行動(dòng)和項(xiàng)目攻堅(jiān)“雙百行動(dòng)”，建立并完善園區(qū)“需求庫(kù)”，通過(guò)走訪調(diào)研園區(qū)80余家企業(yè)，就產(chǎn)業(yè)發(fā)展、人才引育、科技創(chuàng)新、企業(yè)培育、融資需求及員工食宿保障等方面開(kāi)展調(diào)研，詳細(xì)記錄企業(yè)訴求80余條并分類建立臺(tái)賬5份，以期實(shí)現(xiàn)全要素嫁接園區(qū)，聚力打造“最優(yōu)服務(wù)園區(qū)”。

下一步，智能制造中心將聚焦重點(diǎn)企業(yè)精準(zhǔn)服務(wù)、靶向出擊，深耕校企合作和鄉(xiāng)賢資源，開(kāi)展企業(yè)“雙向奔赴”等服務(wù)對(duì)接活動(dòng)，精準(zhǔn)扶持企業(yè)“拔節(jié)成長(zhǎng)”，力爭(zhēng)建成北方最大的、最有影響力的智能制造產(chǎn)業(yè)集群。