隨著物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的到來(lái)，珠三角經(jīng)濟(jì)區(qū)作為中國(guó)最重要的制造基地之一，一直走在時(shí)代的前列。《粵港澳大灣區(qū)發(fā)展規(guī)劃綱要》政策落實(shí)后，廣州作為廣東省省會(huì)城市和經(jīng)濟(jì)中心、一帶一路新亞歐大陸經(jīng)濟(jì)走廊主要節(jié)點(diǎn)城市和海上合作戰(zhàn)略支點(diǎn)，優(yōu)勢(shì)地位不斷得到提升。

近日，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片，并為部分珠三角客戶提供MEMS半導(dǎo)體芯片代工服務(wù)。該生產(chǎn)線的建成投產(chǎn)標(biāo)志奧松電子成為華南地區(qū)領(lǐng)先的MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)基地，推動(dòng)國(guó)內(nèi)、特別是粵港澳大灣區(qū)的MEMS半導(dǎo)體傳感器高質(zhì)量發(fā)展奠定了良好的基礎(chǔ)。

奧松電子斥巨資打造MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級(jí)潔凈度光刻區(qū)、千級(jí)潔凈度鍍膜區(qū)、千級(jí)潔凈度刻蝕區(qū)、千級(jí)潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。整個(gè)潔凈車間安裝了多套高性能風(fēng)淋系統(tǒng)，對(duì)進(jìn)入潔凈間的員工或者貨物進(jìn)行徹底風(fēng)淋除塵。

該生產(chǎn)線一期工程于2019年3月立項(xiàng)，2019年6月正式進(jìn)入施工階段。經(jīng)過(guò)6個(gè)月的施工，生產(chǎn)線的基礎(chǔ)設(shè)施已安裝完成。2020年，多臺(tái)步進(jìn)式投影光刻機(jī)、雙面光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、大束流離子注入機(jī)、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機(jī)、探針臺(tái)、應(yīng)力測(cè)試儀、全自動(dòng)RCA清洗機(jī)等先進(jìn)的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備搬入，生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)。

奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。一期工程已成功量產(chǎn)出溫濕度傳感器、空氣質(zhì)量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優(yōu)質(zhì)的芯片產(chǎn)品。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬(wàn)片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區(qū)各類MEMS半導(dǎo)體芯片的代工需求。

奧松電子在MEMS半導(dǎo)體傳感器領(lǐng)域打破了國(guó)外企業(yè)的壟斷，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口，勇?lián)鷼v史使命，為粵港澳大灣區(qū)建設(shè)貢獻(xiàn)自己的一份力量。