6月6日，深圳市工業(yè)和信息化局、深圳市發(fā)展和改革委員會、深圳市科技創(chuàng)新委員會三部門發(fā)布《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）》，重點聚焦消費電子、智能駕駛、智能機器人等應(yīng)用領(lǐng)域，發(fā)展基于MEMS工藝，涵蓋力、光、聲、熱、磁、氣等智能傳感器產(chǎn)品。

《行動計劃》提出，到2025年，智能傳感器產(chǎn)業(yè)增加值達(dá)到80億元，較2021年的40億元翻番，新增一批專精特新“小巨人”、制造業(yè)“單項冠軍”、“獨角獸”企業(yè)。建設(shè)一條兼具量產(chǎn)能力的MEMS中試線，為高端MEMS傳感器企業(yè)提供定制化、規(guī)?；庸し?wù)，構(gòu)建涵蓋研發(fā)、中試及規(guī)模生產(chǎn)的完整MEMS產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新鏈?！缎袆佑媱潯愤€提出了五大重點任務(wù)與八大重點工程。

華西證券宋輝認(rèn)為，MEMS傳感器正在逐漸取代傳統(tǒng)機械傳感器，受益5G、物聯(lián)網(wǎng)、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)加速興起，市場空間持續(xù)增長。伴隨國內(nèi)半導(dǎo)體制造工藝逐漸升級，加之本地化服務(wù)與成本優(yōu)勢，MEMS制造環(huán)節(jié)向中國轉(zhuǎn)移趨勢明顯。

以下為深圳發(fā)布的《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）》通知。

深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）

各有關(guān)單位：

智能傳感器作為信息系統(tǒng)與外界環(huán)境交互的重要手段和感知信息的主要來源，是決定未來信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展能級的關(guān)鍵核心和先導(dǎo)基礎(chǔ)。為貫徹落實市委、市政府關(guān)于推進(jìn)制造強市建設(shè)的工作部署，加快培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，依據(jù)《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》《深圳市人民政府關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》等文件精神，制定本行動計劃。

一、總體情況

智能傳感器是具有信息采集、信息處理、信息交換、信息存儲功能的多元件集成電路，是集成傳感芯片、通信芯片、微處理器、驅(qū)動程序、軟件算法等于一體的系統(tǒng)級產(chǎn)品，是手機、電腦、智能穿戴、無人機、機器人等各類智能產(chǎn)品必備的核心零部件。

（一）發(fā)展現(xiàn)狀。2021年，深圳市智能傳感器產(chǎn)業(yè)增加值超過40億元，在MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域有技術(shù)積累深厚的行業(yè)龍頭企業(yè)，在激光雷達(dá)、紅外熱電堆等細(xì)分領(lǐng)域擁有具備較強研發(fā)實力和行業(yè)影響力的“小而精”科技創(chuàng)新型企業(yè)。

（二）發(fā)展機遇。深圳在智能硬件、消費電子、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、儀器儀表、工業(yè)自動化、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域擁有廣闊的智能傳感器應(yīng)用市場，特別是隨著數(shù)字孿生城市和鵬城自進(jìn)化智能體的深入建設(shè)，智能傳感器產(chǎn)業(yè)迎來廣闊發(fā)展前景。

（三）存在問題。一是核心制造產(chǎn)能缺失，無法滿足企業(yè)多種智能傳感器產(chǎn)品制造、封裝、測試需求。二是核心基礎(chǔ)技術(shù)創(chuàng)新能力有待提高，擁有核心競爭力的產(chǎn)品不多。三是智能傳感器專業(yè)園區(qū)亟需布局，產(chǎn)業(yè)規(guī)模效應(yīng)尚未形成。四是產(chǎn)業(yè)人才短缺，人才供需矛盾仍然突出。

二、工作目標(biāo)

（一）產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴大。緊緊抓住智能傳感器市場爆發(fā)增長、技術(shù)創(chuàng)新高度活躍的戰(zhàn)略機遇期，做大做強一批智能傳感器制造和系統(tǒng)集成企業(yè)，到2025年智能傳感器產(chǎn)業(yè)增加值達(dá)到80億元、實現(xiàn)翻番，新增一批專精特新“小巨人”、制造業(yè)“單項冠軍”、“獨角獸”企業(yè)。

（二）創(chuàng)新能力不斷增強。到2025年，突破一批智能傳感器核心技術(shù)，布局若干技術(shù)先進(jìn)、特色突出、優(yōu)勢互補的高水平創(chuàng)新平臺，配套建設(shè)3個以上產(chǎn)業(yè)公共服務(wù)平臺。

（三）制造能力顯著提升。以行業(yè)重點企業(yè)為主導(dǎo)，建設(shè)高水平專業(yè)化產(chǎn)業(yè)基地（產(chǎn)業(yè)園）、先進(jìn)傳感器工藝中試平臺。到2025年，建設(shè)一條兼具量產(chǎn)能力的MEMS中試線，為高端MEMS傳感器企業(yè)提供定制化、規(guī)?；庸し?wù)，構(gòu)建涵蓋研發(fā)、中試及規(guī)模生產(chǎn)的完整MEMS產(chǎn)品技術(shù)創(chuàng)新鏈。

（四）生態(tài)體系基本完善。通過培育、引進(jìn)一批設(shè)計、制造、封測、應(yīng)用和配套企業(yè)，全鏈條、全要素智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群基本形成，產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展能力日益增強。到2025年，創(chuàng)建以智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)為主的產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

三、重點任務(wù)

（一）推動產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設(shè)。按照“集約集聚、特色發(fā)展”的布局原則，立足現(xiàn)有企業(yè)分布情況及工業(yè)集聚區(qū)的資源稟賦，推進(jìn)智能傳感器產(chǎn)業(yè)聚集，著力形成產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展效應(yīng)。以市場化方式為主推進(jìn)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園建設(shè)，通過創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)招商模式，完善園區(qū)服務(wù)，鼓勵傳感器產(chǎn)業(yè)企業(yè)入駐聚集發(fā)展。加強對園區(qū)內(nèi)企業(yè)政策宣講等服務(wù)，幫助企業(yè)用足用好產(chǎn)業(yè)發(fā)展、技術(shù)創(chuàng)新、人才育引、應(yīng)用示范等各類支持政策。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（二）打造全產(chǎn)業(yè)鏈核心技術(shù)能力。提高智能傳感器設(shè)計能力，鼓勵重點企業(yè)圍繞圖像傳感器、生物傳感器、激光雷達(dá)、智能觸控等產(chǎn)品，加大研發(fā)投入力度，強化MEMS傳感器、配套ASIC芯片、應(yīng)用算法和驅(qū)動程序等自主研發(fā)能力。提高智能傳感器制造能力，以企業(yè)產(chǎn)品線制造需求為核心，打造具有深圳特色MEMS中試線，引進(jìn)具備技術(shù)實力的傳感器制造企業(yè)。完善封裝測試產(chǎn)業(yè)鏈配套，支持先進(jìn)封裝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。推進(jìn)智能傳感器裝備材料配套，通過產(chǎn)線建設(shè)，帶動高端裝備制造、材料等相關(guān)產(chǎn)業(yè)聯(lián)動發(fā)展，積極引進(jìn)國內(nèi)外智能傳感器核心裝備材料企業(yè)。提升智能傳感器創(chuàng)新產(chǎn)品研發(fā)能力，重點聚焦消費電子、智能駕駛、智能機器人等應(yīng)用領(lǐng)域，發(fā)展基于MEMS工藝、涵蓋力、光、聲、熱、磁、氣等智能傳感器產(chǎn)品。（市科技創(chuàng)新委、工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（三）保障公共服務(wù)能力。構(gòu)建多層次協(xié)同創(chuàng)新體系，深化企業(yè)、高等院校及科研院所合作，加大關(guān)鍵共性技術(shù)、前沿引領(lǐng)技術(shù)、現(xiàn)代工程技術(shù)等研發(fā)力度，搭建產(chǎn)學(xué)研用緊密結(jié)合的協(xié)同創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化平臺，組建傳感器專業(yè)行業(yè)協(xié)會和產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，推動協(xié)同創(chuàng)新。強化公共服務(wù)平臺建設(shè)，推動智能傳感器MEMS工藝制造中試平臺、量產(chǎn)測試服務(wù)平臺、工程檢測驗證服務(wù)平臺等公共服務(wù)平臺建設(shè)，提升制造、封裝與系統(tǒng)集成、檢驗服務(wù)能力。構(gòu)建全鏈條孵化體系，構(gòu)建從基礎(chǔ)研發(fā)到成果轉(zhuǎn)化、中試、量產(chǎn)應(yīng)用的商業(yè)化機制，完善創(chuàng)業(yè)投資、科技服務(wù)、專業(yè)培訓(xùn)、政策咨詢等企業(yè)服務(wù)體系。鼓勵產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同發(fā)展，支持智能傳感器設(shè)計企業(yè)與制造、封測企業(yè)等探索、完善多方協(xié)作、互利共贏的新型商業(yè)模式，建立緊密合作關(guān)系，推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同升級，縮短產(chǎn)品商業(yè)化周期。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委、教育局，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（四）加強產(chǎn)業(yè)引培力度。完善智能傳感器產(chǎn)業(yè)投融資環(huán)境，設(shè)立智能傳感器產(chǎn)業(yè)投資基金，引導(dǎo)和鼓勵天使基金和風(fēng)險投資基金投資智能傳感器企業(yè)，支持各級信用擔(dān)保機構(gòu)為符合條件的智能傳感器企業(yè)提供融資擔(dān)保服務(wù)，鼓勵支持智能傳感器企業(yè)在境內(nèi)外上市融資及發(fā)行各類債務(wù)融資工具。加快培育創(chuàng)新型企業(yè)，選擇一批優(yōu)勢明顯、成長性好的重點企業(yè)加快培育成具有競爭力的創(chuàng)新型龍頭企業(yè)，支持龍頭企業(yè)突破一批核心關(guān)鍵技術(shù)，引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展，分類培育智能傳感器細(xì)分領(lǐng)域企業(yè)，支持創(chuàng)新型中小企業(yè)孵化成長。積極開展重點項目招商，針對智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈重點領(lǐng)域、關(guān)鍵節(jié)點，著重強鏈補鏈，重點引進(jìn)一批擁有技術(shù)優(yōu)勢、品牌優(yōu)勢和市場優(yōu)勢的智能傳感器企業(yè)，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)突破式發(fā)展。（市商務(wù)局、工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（五）提升產(chǎn)業(yè)生態(tài)合作水平。舉辦智能傳感器產(chǎn)業(yè)展會、論壇等專業(yè)活動，鼓勵引導(dǎo)企業(yè)積極開展合作交流。依托專家咨詢委員會，舉辦相關(guān)技術(shù)論壇、科技沙龍，專題探討行業(yè)發(fā)展熱點、焦點、難點問題，為企業(yè)技術(shù)路徑提供專業(yè)指導(dǎo)。以重點高校、重點企業(yè)和科研院所為主體，加強粵港澳大灣區(qū)智能傳感器行業(yè)的交流合作和協(xié)同創(chuàng)新。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

四、重點工程

（一）關(guān)鍵材料攻關(guān)工程。積極引進(jìn)國內(nèi)外傳感器材料制備頭部企業(yè)，鼓勵重點企業(yè)聯(lián)合新型科研機構(gòu)開展產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，加快推進(jìn)新型敏感材料及元件在新型傳感器制備過程中的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，加快變革性敏感原理、材料、工藝的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，加快新型傳感器的研發(fā)和規(guī)模量產(chǎn)步伐。（市科技創(chuàng)新委、發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化局按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（二）高端設(shè)計躍遷工程。強化企業(yè)傳感器總體結(jié)構(gòu)、敏感元件、加工工藝、外圍電路等全流程設(shè)計能力，推進(jìn)與下游加工制造、系統(tǒng)集成等企業(yè)的交流合作。支持充分利用市內(nèi)相關(guān)科研院所資源，開展新型傳感器原創(chuàng)性設(shè)計。推動開發(fā)傳感器器件結(jié)構(gòu)設(shè)計與驗證、MEMS及ASIC協(xié)同設(shè)計、產(chǎn)品性能仿真等工具軟件。鼓勵傳感器系統(tǒng)集成廠商、儀器儀表廠商及集成電路設(shè)計廠商圍繞“應(yīng)用牽引”兼并重組國內(nèi)外傳感器產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)企業(yè)。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（三）特色制造補鏈工程。加強MEMS與集成電路工藝兼容性研究，布局CMOS-MEMS集成技術(shù)，面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和部分量產(chǎn)服務(wù)，加快研發(fā)成果產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。鼓勵和支持芯片制造企業(yè)升級改造現(xiàn)有晶圓加工生產(chǎn)線，形成MEMS工藝量產(chǎn)能力。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（四）先進(jìn)封測強鏈工程。支持傳感器企業(yè)加快晶圓測試、芯片封裝、封裝后測試等半導(dǎo)體封裝過程關(guān)鍵技術(shù)和工藝研究，自主掌握主流封裝技術(shù)應(yīng)用能力。支持重點企業(yè)不斷提升傳感器研發(fā)、試產(chǎn)和量產(chǎn)過程中的階段性測試能力，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。鼓勵引進(jìn)國內(nèi)外專業(yè)封測設(shè)備廠商，提升本地設(shè)備配套能力。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委、商務(wù)局按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（五）終端應(yīng)用創(chuàng)新工程。實施傳感器示范應(yīng)用工程，推動多傳感器集成與傳感器多功能集成，推動傳感器產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)協(xié)同發(fā)展。加大智能手環(huán)、智能機器人、智能網(wǎng)聯(lián)汽車、醫(yī)療器械、智能視覺和智慧水務(wù)、電力、熱力、燃?xì)?、環(huán)保、交通等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域場景下的傳感系統(tǒng)集成和應(yīng)用示范。鼓勵機器人及智能裝備產(chǎn)業(yè)重點企業(yè)，開展內(nèi)部溫度、壓力、位置、姿態(tài)、導(dǎo)航等傳感器系統(tǒng)和外部測距、聲音、圖像、紅外等功能性傳感器系統(tǒng)、智能化應(yīng)用解決方案、多傳感器融合系統(tǒng)等研發(fā)制造。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委、國資委按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（六）精準(zhǔn)招商引資工程。加強產(chǎn)業(yè)鏈上下游招商，通過舉辦會展、會議、推介活動，加強宣傳推廣，吸引知名企業(yè)落戶。充分利用產(chǎn)業(yè)投資基金引導(dǎo)作用，積極落實各項招商政策，完善各項配套體系，針對國際和國內(nèi)重點智能傳感器相關(guān)廠商進(jìn)行招商，逐步實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)上下游集聚發(fā)展。（市商務(wù)局、工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（七）產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新示范工程。以智能傳感器產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向，以應(yīng)用研究為主體，以技術(shù)共享為紐帶，通過共建企業(yè)聯(lián)合實驗室，積極推動高校及科研院所與產(chǎn)業(yè)內(nèi)企業(yè)開展協(xié)同創(chuàng)新，實現(xiàn)專利共享和成果轉(zhuǎn)化，達(dá)成產(chǎn)學(xué)研深度融合。引導(dǎo)集群促進(jìn)機構(gòu)、科研院所、聯(lián)盟協(xié)會等在應(yīng)用落地和場景示范中發(fā)揮積極作用，推動示范應(yīng)用落地和推廣，構(gòu)建多維度、多層次的集群網(wǎng)絡(luò)化共生生態(tài)。（市科技創(chuàng)新委、教育局、工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（八）產(chǎn)業(yè)空間布局優(yōu)化工程。發(fā)揮南山區(qū)智能傳感器企業(yè)匯聚、高校和科研院所集聚優(yōu)勢，以龍頭帶動、應(yīng)用牽引、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同為重點，打造智能傳感器核心承載區(qū)。發(fā)揮龍華區(qū)3C電子領(lǐng)域制造基礎(chǔ)優(yōu)勢，積極培育一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計重點企業(yè)，打造智能傳感器研發(fā)和應(yīng)用的特色示范區(qū)。圍繞智能傳感器中試熟化與產(chǎn)業(yè)化需要，在光明區(qū)布局建設(shè)兼具量產(chǎn)能力的研發(fā)中試線，打造智能傳感器中試熟化與產(chǎn)業(yè)化示范區(qū)。（市工業(yè)和信息化局，南山區(qū)政府、龍華區(qū)政府、光明區(qū)政府按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

五、保障措施

（一）強化組織協(xié)調(diào)領(lǐng)導(dǎo)。全面統(tǒng)籌智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，協(xié)調(diào)解決重大項目布局、用地保障、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)等重大問題。組建深圳市智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家咨詢委員會，聘請國內(nèi)外知名企業(yè)家、學(xué)術(shù)專家，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向選擇、重大項目引進(jìn)建設(shè)評估、國內(nèi)外產(chǎn)業(yè)政策資源對接等提供咨詢意見。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委、市場監(jiān)管局按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（二）加大財政金融支持力度。加大專項資金向智能傳感器產(chǎn)業(yè)傾斜力度，激勵企業(yè)加大研發(fā)、技改投入，支持骨干企業(yè)和初創(chuàng)企業(yè)發(fā)展。對獲得國家科技重大專項、重點研發(fā)計劃等國家專項資金支持的項目，按規(guī)定落實地方配套資金或聯(lián)動資金。鼓勵社會資本通過多種方式進(jìn)入智能傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，通過智能傳感器產(chǎn)業(yè)投資基金引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)與金融資本深度合作。（市工業(yè)和信息化局、地方金融監(jiān)管局、財政局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委、深圳銀保監(jiān)局按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（三）加快專業(yè)產(chǎn)業(yè)園建設(shè)。結(jié)合目前企業(yè)產(chǎn)線進(jìn)行統(tǒng)一布局，積極打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，建設(shè)生產(chǎn)所需的標(biāo)準(zhǔn)廠房、基本動力、三廢處理等基礎(chǔ)設(shè)施及必要的生活配套設(shè)施。鼓勵產(chǎn)業(yè)園錯位發(fā)展，在項目引進(jìn)上加強互動和協(xié)作。加強園區(qū)內(nèi)企業(yè)聯(lián)動協(xié)作和統(tǒng)一管理，在科研資源、創(chuàng)新平臺、人才培養(yǎng)、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)等方面提供資源共享服務(wù)。（市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技創(chuàng)新委，各區(qū)政府、新區(qū)管委會、深汕特別合作區(qū)管委會按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）

（四）強化人才培養(yǎng)引進(jìn)。支持建設(shè)智能傳感器相關(guān)的院士工作站、博士后工作站、技術(shù)中心、孵化創(chuàng)業(yè)中心，鼓勵示范性微電子學(xué)院人才培養(yǎng)向智能傳感器方向傾斜，聯(lián)合高等院校、科研機構(gòu)建設(shè)跨學(xué)科的智能傳感器綜合人才培養(yǎng)基地。（市人力資源保障局、教育局、科技創(chuàng)新委、工業(yè)和信息化局按職責(zé)分工負(fù)責(zé)）