6月28日，蘇州博眾儀器科技有限公司（以下簡稱“博眾儀器”）發(fā)布國產(chǎn)首臺商用200千伏場發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點(diǎn)分辨率達(dá)到0.25納米，晶格分辨率達(dá)到0.14納米，能夠直接分辨絕大多數(shù)材料的晶格結(jié)構(gòu)。

BZ-F200透射電鏡微縮模型（左），關(guān)鍵部件電子源（右）。博眾儀器供圖

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后，會攜帶樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，這些信息經(jīng)過放大系統(tǒng)成像后，可放大百萬倍，從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于納米級的研究與觀測，是材料科學(xué)、生命科學(xué)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域研究所必需的高端儀器設(shè)備。

BZ-F200的研發(fā)歷時5年。博眾儀器技術(shù)總監(jiān)梁晶博士介紹，此前，高端透射電鏡產(chǎn)業(yè)長期被國外儀器公司壟斷，核心零部件受到國外技術(shù)封鎖，針對這項痛點(diǎn)，博眾儀器陸續(xù)實(shí)現(xiàn)了熱場電子槍、超高穩(wěn)定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產(chǎn)，并在用戶先期試用中得到驗證。

梁晶介紹，該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學(xué)領(lǐng)域，適用于晶格尺度的結(jié)構(gòu)解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“經(jīng)過5年的技術(shù)攻關(guān)與反復(fù)錘煉，我們已將BZ-F200從整機(jī)到每一個關(guān)鍵零部件的全鏈條核心技術(shù)牢牢掌握在自己手中?！辈┍妰x器總經(jīng)理唐愛權(quán)表示。