光刻機是制造芯片的核心裝備，世界上只有少數(shù)廠家掌握了尖端光刻機的曝光系統(tǒng)和光刻技術(shù)，核心芯片制造技術(shù)牢牢把握在了資本廠商手中，把控了多條科技命脈。提高光刻機研發(fā)技術(shù)水平，是發(fā)展中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心要務(wù)。
光刻機追求高分辨率和高精度對準(zhǔn)，要求在μm距離范圍內(nèi)，進(jìn)行多層曝光，并且層間圖案定位精準(zhǔn)。所以，要為如此精細(xì)工作的光刻機提供測試服務(wù)，測試電源也必須擁有高壓、高頻、高精度、高速響應(yīng)速度等強度耐力。
航裕電源，致力于服務(wù)國家戰(zhàn)略，十年來服務(wù)于各大軍工院所和高校，為國家國防軍工、航空航天等高科技研發(fā)測試提供高品質(zhì)測試電源。此次，航裕電源為滿足國家光刻機研發(fā)測試需求，再次突破技術(shù)難關(guān)，電源上升時間最快達(dá)到100μs以內(nèi)，輸出電壓最大50kV，輸出電流單機最大10000A，可并聯(lián)至50000A，高功率密度達(dá)單機最大5kW/2U，可串聯(lián)、并聯(lián)，組裝于集成柜，獲得更大功率。
長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司前身為中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所超精密光學(xué)工程研究中心。致力于極大規(guī)模集成電路光刻投影光學(xué)、顯微光學(xué)、多光譜融合成像探測、超精密光機制造等領(lǐng)域的高技術(shù)研究，同時開展相應(yīng)高端光學(xué)儀器與裝備產(chǎn)品的研發(fā)工作。去年，長春國科購置了航裕電源HY-PMC系列可編程12通道直流電源，用于繼續(xù)推動光刻機等科研發(fā)展。
HY-PMC 可編程多通道直流電源
產(chǎn)品特點
■ 高精度
■ 高分辨率：1mV/ 1mA
■ 線性放大技術(shù)，超低紋波噪聲
■ 兩通道以上輸出，最多可達(dá)120通道
■ 80種電壓/電流組合，可供用戶自由選擇
■ 恒壓CV/恒流CC，CV/CC優(yōu)先可設(shè)
■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制
■ 上升和下降斜率可調(diào)（電壓/電流）
■ 電源輸出軟啟動功能，應(yīng)對感性負(fù)載
■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器，輸出精確
■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器，回讀更準(zhǔn)
■ 多重保護(hù)功能 OVP / OCP / OTP
■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機架尺寸
■ 4 英寸超大液晶顯示屏
■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入
■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕
■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全（3U）
■ 輸出 ON / OFF 按鍵
■ 標(biāo)配遠(yuǎn)端測量端子，補償輸出線壓降
■ 風(fēng)機智能調(diào)速設(shè)計，減少噪音
■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ，后部出風(fēng)，節(jié)省散熱空間
■ 支持 Modbus 和 SCPI 協(xié)議
■ 標(biāo)配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O
■ 選購接口：LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測（隔離型）
8通道產(chǎn)品外觀
HY-HV 可編程高壓直流電源
產(chǎn)品特點
■ 輸出電壓最大50kV
■ 高功率密度：單機最大100kW
■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制
■ 電壓上升和下降斜率可調(diào)
■ 電源輸出軟啟動功能
■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器，輸出精確
■ 16 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器，回讀更準(zhǔn)
■ 多重保護(hù)功能 過溫、開路保護(hù)
■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機架尺寸
■ 7 英寸超大液晶顯示屏
■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入
■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕
■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全
■ 輸出 ON / OFF 按鍵
■ 風(fēng)機智能調(diào)速設(shè)計，減少噪音
■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ，后部出風(fēng)，節(jié)省散熱空間
■ 支持 Modbus 協(xié)議
■ 標(biāo)配接口：RS-485&RS-232
■ 選購接口：LAN&CAN USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測（隔離型）
HY-PM 可編程多功能直流電源
產(chǎn)品特點
■ 2U機型輸出額定電流510A，最大電流550A
■ 高功率密度：單機最大 5kW / 2U
■ 工作模式：恒壓 CV、恒流 CC，CV / CC 優(yōu)先可設(shè)
■ 輸入標(biāo)配 PFC，功率因素高達(dá) 0.99（5 kW / 2U）
■ 支持前面板編程，無須上位機軟件控制
■ 上升和下降斜率可調(diào)（電壓/電流）
■ 電源輸出軟啟動功能，應(yīng)對感性負(fù)載
■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器，輸出精確
■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器，回讀更準(zhǔn)
■ 多重保護(hù)功能 OVP / OCP / OTP
■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機架尺寸
■ 4 英寸超大液晶顯示屏
■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入
■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕
■ 電源輸入采用斷路器控制 ，更加安全（3U）
■ 輸出 ON / OFF 按鍵
■ 標(biāo)配遠(yuǎn)端測量端子，補償輸出線壓降
■ 風(fēng)機智能調(diào)速設(shè)計，減少噪音
■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ，后部出風(fēng)，節(jié)省散熱空間
■ 支持 Modbus 和 SCPI 協(xié)議
■ 標(biāo)配接口：RS-485 & RS-232、Digital I/O
■ 選購接口：LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測（隔離型）
■ 可串聯(lián)、并聯(lián)，組裝于集成柜
HY-PM系列多功能直流電源上升時間實測：8.446ms
HY-HS系列高速直流電源上升時間實測：161.9μs
