9月8日，中國計量科學研究院在北京組織召開國家重點研發(fā)計劃項目NQI重點專項“納米幾何特征參量計量標準器研究及應用示范”項目實施方案論證會。來自北京航天航空大學、西安交通大學、天津大學、中科院微電子所等國內科研院所和重點大學的10多位專家參加會議。蘇州市計量測試院作為課題承擔單位參加了會議。

目前，我國納米計量量值傳遞體系尚不完善，納米幾何特征參量標準器存在不少空白，導致產(chǎn)業(yè)中大量的納米測量設備校準溯源依賴國外儀器生產(chǎn)商和檢測機構,限制我國先進制造業(yè)發(fā)展。

蘇州市計量測試院將通過開展“納米幾何特征參量計量標準器在先進制造產(chǎn)業(yè)應用示范”課題的研究，主要解決三個問題：一是針對量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的技術問題，建立納米領域的社會公用計量標準，實現(xiàn)到國家計量基準的溯源。組織全國比對，確保全國計量標準量值的準確、一致、可靠。以點帶面，逐步在全國范圍內建立完善的納米計量量傳體系；二是針對平板顯示領域中微納幾何關鍵參數(shù)溯源方法缺失的技術問題，應用建立納米領域的社會公用計量標準，統(tǒng)一金屬、非金屬膜厚及ITO 電極尺寸定值過程中所涉及的掃描探針顯微鏡、三維光學輪廓儀等測量儀器的溯源問題。三是針對空氣潔凈領域中，由于測量儀器不同導致顆粒粒徑定值不統(tǒng)一的技術問題，通過用社會公用計量標準溯源的掃描電子顯微鏡的微觀分析技術，應用于潔凈領域的空氣顆粒粒徑等參數(shù)的精確測量，規(guī)范空氣顆粒粒徑等參數(shù)的測試方法，形成行業(yè)標準，保障產(chǎn)業(yè)中對潔凈度等級進行劃分的主要技術指標的準確。

朱建榮副長作為課題負責人，向各位專家介紹了課題的技術路線、研究難點、任務分解及實施進度安排。課題將圍繞先進制造產(chǎn)業(yè)計量需求，在產(chǎn)業(yè)密集區(qū)建立納米計量社會公用計量標準，組織全國比對確保量值準確可靠一致，逐步形成覆蓋全國的納米幾何量值傳遞體系，并開展應用示范，從根本上解決納米幾何標準器缺失和量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題，打破國外壟斷，提升產(chǎn)品質量和國際競爭力。