1983年，第17屆國(guó)際計(jì)量大會(huì)將“米”定義為：米是光在真空中299792458分之一秒的時(shí)間間隔內(nèi)行程的長(zhǎng)度。激光干涉儀以激光的波長(zhǎng)作為“標(biāo)尺”，是復(fù)現(xiàn)米的定義最高準(zhǔn)確度的計(jì)量?jī)x器。在長(zhǎng)度計(jì)量的量值溯源系統(tǒng)表中，分別是端度（量塊）、線紋、角度的最高計(jì)量?jī)x器，被譽(yù)為長(zhǎng)度計(jì)量皇冠上的明珠。

近日，廣州計(jì)量院（GIMT）新購(gòu)入的633nm波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)裝置和激光干涉比長(zhǎng)儀順利完成安裝調(diào)試及人員培訓(xùn)，即將投入使用。這兩套設(shè)備的引入，使得廣州計(jì)量院（GIMT）具備了激光干涉儀的檢定校準(zhǔn)能力，進(jìn)一步提升其在幾何量檢測(cè)領(lǐng)域量值傳遞的技術(shù)能力，為大灣區(qū)高端裝備制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供精準(zhǔn)的計(jì)量支撐。

激光干涉比長(zhǎng)儀也可以用于一、二等標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺、一、二等標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的檢定校準(zhǔn)。同時(shí)預(yù)留了位移傳感器的治具接口，也能用于位移傳感器的位移示值誤差檢定校準(zhǔn)。真正做到了一機(jī)多用，柔性計(jì)量，滿足不同被檢儀器設(shè)備的檢定校準(zhǔn)要求。

廣東作為中國(guó)制造業(yè)的最強(qiáng)省份，激光干涉儀的市場(chǎng)保有量超過(guò)500臺(tái)套。廣州計(jì)量院（GIMT）將以此次設(shè)備購(gòu)置為契機(jī)，為激光干涉儀提供全參數(shù)、近距離的量值溯源服務(wù)，全面提升精測(cè)部在幾何量檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)水平和服務(wù)質(zhì)量，重點(diǎn)支撐大灣區(qū)工業(yè)制造、半導(dǎo)體、新能源、新材料、汽車制造、金屬鑄造、航空航天等產(chǎn)業(yè)的檢測(cè)需求，助力企業(yè)優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量、加速技術(shù)升級(jí)。

附：

1.633nm波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)裝置的主要技術(shù)指標(biāo)：

波長(zhǎng)的相對(duì)擴(kuò)展不確定度達(dá)到Urel=2×10?1?（k=2）

頻率相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel≤5×10??（k=2）。2.激光干涉比長(zhǎng)儀的主要技術(shù)指標(biāo)：

線紋尺測(cè)量時(shí)，擴(kuò)展不確定度為U=0.06μm + 0.1×10??L（k=3）

激光干涉儀測(cè)量時(shí)，擴(kuò)展不確定度為U=0.14μm/m（k=2）