謝斌平 費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司首席技術(shù)官

坐標(biāo)：上海寶山

領(lǐng)域：高端儀器

蒜泥白肉、撈汁小海鮮、香煎牛排……談及美食，費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司首席技術(shù)官謝斌平一下子列出了眾多拿手好菜。

“做菜和設(shè)備調(diào)試有相通性，看起來只是一點(diǎn)點(diǎn)的參數(shù)不同，結(jié)果可能就會有很大的差異。平時(shí)忙著工作，家里人給了很多支持，而做飯不僅可以放松心情，也是對家人的一種彌補(bǔ)和回饋?！边@位“搭設(shè)備”很厲害的張江示范區(qū)杰出創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人才稱號獲得者，品味著生活的樂趣，也徜徉在創(chuàng)新的世界。

1、瞄準(zhǔn)世界一流”

位于張江高新區(qū)寶山園的費(fèi)勉儀器，是一家致力于為全球?qū)W術(shù)及研究機(jī)構(gòu)、國家重大項(xiàng)目和高端產(chǎn)業(yè)提供精密儀器裝置，和以薄膜外延、低溫技術(shù)、深紫外光源、先進(jìn)等離子等為代表的前沿技術(shù)產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新型企業(yè)。

謝斌平是一位科班出身的“80后”凝聚態(tài)物理專業(yè)博士，曾獲得國家科技進(jìn)步二等獎、上海市科技進(jìn)步一等獎等獎項(xiàng)，作為費(fèi)勉儀器首席技術(shù)官，他主導(dǎo)開發(fā)了多項(xiàng)具有國際先進(jìn)水平的科研設(shè)備與系統(tǒng)，特別是射頻聚焦等離子真空紫外光源和無液氦多自由度低溫樣品架為國際首創(chuàng)，不僅打破了國際壟斷，而且各項(xiàng)性能指標(biāo)名列國際前列。

說起當(dāng)時(shí)為什么會創(chuàng)辦這樣一家公司，謝斌平笑言和兩位復(fù)旦大學(xué)物理系的同門師兄弟志同道合：“在科研上，其實(shí)我們已經(jīng)在一些領(lǐng)域處在比較前沿的位置了，但是，科研設(shè)備就一直沒有很好的國產(chǎn)產(chǎn)品。如果不從源頭上解決這一問題，不管是科研也好，還是創(chuàng)新也好，都會受制于人。創(chuàng)辦費(fèi)勉儀器，就是希望通過探究基礎(chǔ)物理學(xué)原理，實(shí)現(xiàn)中國的技術(shù)創(chuàng)新，填補(bǔ)這項(xiàng)空白。”

精密儀器作為集材料、物理、生物、化學(xué)多個(gè)專業(yè)與先進(jìn)技術(shù)的高度綜合，既是創(chuàng)新研究的工具，更是創(chuàng)新研究的主體。在國內(nèi)基礎(chǔ)科學(xué)和前沿科技投入和重視程度不斷攀升，而高端精密儀器的需求仍然嚴(yán)重依賴進(jìn)口的背景下，謝斌平帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)瞄準(zhǔn)世界一流的目標(biāo)不斷深化技術(shù)創(chuàng)新，打破技術(shù)壁壘，走進(jìn)了這個(gè)領(lǐng)域的世界前沿。

“在實(shí)驗(yàn)儀器這一塊，特別是在低溫樣品架、真空紫外光源領(lǐng)域，費(fèi)勉儀器現(xiàn)在基本上已經(jīng)做到世界最好了。比如，我們的低溫樣品架不僅實(shí)現(xiàn)了對老牌全球頂尖科研儀器的部分替代，甚至指標(biāo)比國外的還好，被國際一流科題組所認(rèn)可。如今，除了滿足國內(nèi)高校研究所的需求，我們現(xiàn)在差不多有三分之一的產(chǎn)品出口到國外。”

2、實(shí)現(xiàn)場景跨越

從初創(chuàng)的3個(gè)人，到如今的300余人；從擠在10平方米左右的小房間，到擁有約20000平方米的獨(dú)立辦公生產(chǎn)功能空間；從0到1的跨越，到從1到N的延伸……

如今的費(fèi)勉儀器不斷加速奔跑，成為上海市高新技術(shù)企業(yè)、上海市“專精特新”中小企業(yè)、上海市專利試點(diǎn)單位、上海市科技小巨人培育企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)。

在費(fèi)勉儀器的生產(chǎn)現(xiàn)場，可以看到，組裝和調(diào)試中的一套套實(shí)驗(yàn)設(shè)備，一個(gè)個(gè)真空腔連接著傳遞腔、測量腔等，硬核科技感十足。

與此同時(shí)，從第一個(gè)產(chǎn)品低溫樣品架開始投入研發(fā)，從傳統(tǒng)液氦，到通過電制冷達(dá)到液氦溫度……發(fā)展到今天，費(fèi)勉儀器在超高真空、低溫、薄膜制備及等離子四個(gè)技術(shù)領(lǐng)域，擁有豐富的技術(shù)積累和成熟產(chǎn)品線。

“在國內(nèi)，四項(xiàng)核心技術(shù)都保持較高水準(zhǔn)，并且可以提供集成方案和系統(tǒng)的公司還不多，這也是費(fèi)勉儀器的競爭優(yōu)勢?！?

如今，對于“誕生于實(shí)驗(yàn)室”費(fèi)勉儀器而言，也在探索如何將應(yīng)用場景從實(shí)驗(yàn)室拓展到工業(yè)等領(lǐng)域。這既給謝斌平和技術(shù)團(tuán)隊(duì)提出了新的要求，也提供了新的發(fā)展空間。

初創(chuàng)時(shí)期，費(fèi)勉儀器的主要業(yè)務(wù)是為高校實(shí)驗(yàn)室和研究所提供集成了自己核心技術(shù)的整套實(shí)驗(yàn)設(shè)備和解決方案，這些設(shè)備主要用于半導(dǎo)體材料、航空航天有關(guān)領(lǐng)域的研究。隨著企業(yè)的發(fā)展，在立足實(shí)驗(yàn)室設(shè)備產(chǎn)品和開發(fā)高端儀器的同時(shí)，謝斌平和技術(shù)團(tuán)隊(duì)也在工業(yè)和民生產(chǎn)品方面進(jìn)行了研發(fā)應(yīng)用的探索，并取得了不俗的成果。

“在工業(yè)領(lǐng)域，費(fèi)勉的MBE系統(tǒng)（分子束外延生長技術(shù), 是半導(dǎo)體等新材料研發(fā)制備的關(guān)鍵技術(shù)）的國產(chǎn)化已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了零的突破，從2021年起陸續(xù)向國內(nèi)半導(dǎo)體公司交付多套設(shè)備，用于高功率半導(dǎo)體激光巴條生產(chǎn)和半導(dǎo)體材料晶圓薄膜外延，覆蓋傳統(tǒng)GaAs、InP器件，新型硅基氮化鎵器件和氧化鎵等新一代半導(dǎo)體器件?！睆乃挠⒋缇A的MBE系統(tǒng)的供貨，到八英寸的供貨，再到未來逐漸實(shí)現(xiàn)全尺寸的供貨，費(fèi)勉儀器一步步地實(shí)現(xiàn)著從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)領(lǐng)域的跨越?！澳壳叭叽缟a(chǎn)型的MBE系統(tǒng)由一家法國公司和一家美國公司掌控，如果費(fèi)勉的這個(gè)目標(biāo)實(shí)現(xiàn)，意味著在研究分子束外延晶圓薄膜技術(shù)上我們將有機(jī)會突破‘卡脖子’，實(shí)現(xiàn)本土化?！?

在其他民用領(lǐng)域，謝斌平也在帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)嘗試各種業(yè)務(wù)拓展。比如，基于費(fèi)勉儀器的等離子技術(shù)拓展出的等離子空氣消殺、等離子水技術(shù)，等等。

3、勇攀科技高峰

近者悅、遠(yuǎn)者來。如今，昔日老工業(yè)基地寶山，正蝶變成為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)熱土，也為越來越多像費(fèi)勉儀器這樣的科創(chuàng)企業(yè)在此生根發(fā)芽提供著肥沃的土壤。

費(fèi)勉儀器2017年8月遷入寶山區(qū)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園，這也是費(fèi)勉儀器的第4次搬家。“伴隨著費(fèi)勉儀器的成長，我們需要更大的空間?！痹谥x斌平看來，“此次搬家可說是費(fèi)勉儀器一個(gè)比較大的跨越，我們的人可以更多，我們做的事情也可以更多，距離我們的創(chuàng)新夢想也更近了。在此過程中，確實(shí)得到了張江寶山園挺多支持的?！?

與謝斌平的感受一樣，在費(fèi)勉儀器的小伙伴們看來，這里正是理想的高科技制造型企業(yè)的創(chuàng)業(yè)地，費(fèi)勉儀器在這里得到了全方位的“呵護(hù)”：機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園可以為公司辦理工商、環(huán)評等手續(xù)提供專業(yè)指導(dǎo)，提高企業(yè)的辦事效率；寶山區(qū)科委、經(jīng)委、人才中心等部門多次到企業(yè)實(shí)地調(diào)研，了解企業(yè)經(jīng)營中的實(shí)際問題，針對企業(yè)特點(diǎn)，給予了資金補(bǔ)貼、人才留滬等方面的支持；工會等部門對企業(yè)員工進(jìn)行高溫慰問暖人心；政府提供的公租房也為企業(yè)留住人才提供了必要的住房保障；一系列的科創(chuàng)政策使企業(yè)可以安心研發(fā)生產(chǎn)，進(jìn)而為建設(shè)科創(chuàng)主陣地做出更多的努力。

與此同時(shí)，謝斌平覺得，不止寶山，上海這座包容的城市，也無處不在地給予著科技企業(yè)充足的個(gè)性化發(fā)展空間?！拔?999年來到上海后，就沒有長時(shí)間離開過。我喜歡和習(xí)慣這里的環(huán)境，有志同道合的小伙伴，有兄弟公司，有客戶，有政策和項(xiàng)目支持，在上海我們能夠安心地專注于做我們自己的事情、專注于科技創(chuàng)新的前沿探索?！?

良好的創(chuàng)新環(huán)境，也激勵著謝斌平和費(fèi)勉儀器向更高的科技高峰攀登。下一步，費(fèi)勉儀器將繼續(xù)依托自身研發(fā)力量，充分利用自身技術(shù)優(yōu)勢，不斷提升產(chǎn)品性能，開發(fā)新產(chǎn)品，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域等的轉(zhuǎn)化，做行業(yè)的領(lǐng)跑者。

“我們一直說科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力，但是如果不能實(shí)現(xiàn)科研儀器的自主創(chuàng)新，就很難做出引領(lǐng)性的工作。正是在此意義上說，高端儀器的自主創(chuàng)新，是我們必須補(bǔ)上的‘功課’?！?

“費(fèi)勉儀器的產(chǎn)品可能普通人不會直接接觸到，但是，在人們生產(chǎn)生活的背后卻很可能是離不開的?！闭劶吧虾？苿?chuàng)“核爆點(diǎn)”，謝斌平表示，“核爆具有廣度和深度，費(fèi)勉儀器所在的賽道雖然高端，但也相對冷門。我希望的是，費(fèi)勉儀器更像是長江或黃河的起源，可能看起來并不顯眼，卻恰恰是澎湃活力的起點(diǎn)和動力之源?！?