深圳綜合粒子設(shè)施研究院，是深圳市委市政府貫徹落實(shí)“雙區(qū)驅(qū)動(dòng)”和創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展國家重大戰(zhàn)略、支撐大灣區(qū)綜合性國家科學(xué)中心建設(shè)的公益性科研事業(yè)單位，于2020年4月獲批成立。

深圳綜合粒子設(shè)施研究院近日擬采購一套高精度測(cè)量儀，用于硬X射線衍射實(shí)驗(yàn)室測(cè)試裝置研制集成。本項(xiàng)目整個(gè)測(cè)試平臺(tái)的搭建過程中，需要對(duì)準(zhǔn)直/聚焦系統(tǒng)、探測(cè)器系統(tǒng)、衍射儀系統(tǒng)、狹縫、樣品位移臺(tái)等所有機(jī)械結(jié)構(gòu)的線性運(yùn)動(dòng)性能進(jìn)行檢測(cè)和驗(yàn)收。高精度測(cè)量系統(tǒng)可以完成機(jī)械運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的線性檢測(cè)工作，包括運(yùn)動(dòng)線性分辨率、運(yùn)動(dòng)線性重復(fù)性以及導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)直線度，檢定機(jī)械結(jié)構(gòu)裝配后的線性運(yùn)動(dòng)性能，保證最終滿足實(shí)驗(yàn)站出光要求。

高精度測(cè)量儀包括一臺(tái)雙頻激光發(fā)射器、一個(gè)便攜式支架、三套反射鏡組、兩個(gè)傳感器和一個(gè)傳感集線器以及配套軟件，主要用于X射線衍射實(shí)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的線性運(yùn)動(dòng)和角度檢定，未有大量設(shè)備同時(shí)檢定要求，一臺(tái)設(shè)備可以滿足項(xiàng)目需要。此次購置為新增，院內(nèi)無同類設(shè)備。

根據(jù)裝置的設(shè)計(jì)驗(yàn)收參數(shù)：

樣品位移臺(tái)移動(dòng)分辨率指標(biāo)為1μm，重復(fù)運(yùn)行精度PV均方差小于1μm；

探測(cè)器直線導(dǎo)軌定位精度小于10μm，重復(fù)精度小于±2μm；

單色器姿態(tài)調(diào)節(jié)，其中位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)行程為10mm，分辨率要求為0.5μm，重復(fù)性要求1μm；

準(zhǔn)直鏡的機(jī)械運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，Yaw、Pitch、Roll、X、Z五自由度的調(diào)節(jié)，橫切機(jī)構(gòu)的線性運(yùn)動(dòng)分辨率和重復(fù)性指標(biāo)為1μm、±2μm，垂直調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的線性分辨率和重復(fù)性指標(biāo)為1μm、±2μm。

綜合考慮各設(shè)備的重復(fù)性測(cè)量精度、分辨率要求以及后期其他精密設(shè)備的檢測(cè)需求，要求該高精度測(cè)量儀線性定位精度達(dá)到±0.4ppm，分辨率精度達(dá)到0.1μm，角度測(cè)量精度不小于顯示值的±0.2%。

預(yù)算：70萬

獲取文件

時(shí)間：2021年12月23-30日

地點(diǎn)：http://www.o-science.com 注冊(cè)并購買

售價(jià)：￥600.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

投標(biāo)事宜

截/開投時(shí)間：2022年01月04日 14:30

地點(diǎn)：深圳市南山區(qū)粵海街道百度國際大廈西塔1005室

聯(lián)系方式

采購人：深圳綜合粒子設(shè)施研究院

地址：深圳市光明區(qū)新湖街道圳園路268號(hào)美華美工業(yè)區(qū)

聯(lián)系方式：0755-21096067

采購代理：東方國際招標(biāo)有限責(zé)任公司

聯(lián)系方式：遲兆洋、張君仙 0769-26627023、020-87001523